超小型真空チャンバAは、真空容器と真空ポンプで構成されており、主に小型の材料や機器の熱真空試験を実施することができます。真空ポンプにより真空容器内の空気を排気し、高真空状態（真空度1.3×10-3 Pa）を作り出します。
超小型真空チャンバBも、超小型真空チャンバAと同様に、真空容器と真空ポンプで構成されており、主に小型の材料や機器の熱真空試験が行えます。真空ポンプにより真空容器内の空気を排気し、高真空状態（真空度1.3×10-3 Pa）を作り出します。 また、超小型真空チャンバBには、チャンバ内に温度調節用プレートが配されており、供試体温度の調節が可能となっています。また、20chの熱電対の接続ポートを持っており、真空容器内部で温度計測が可能です。
ベーキング装置は主に小型機器を対象としており、真空化で加熱することでコンタミネーションの原因となる揮発性物質を除去します。タイマ機能によるオートスタート、オートストップ、8 ステップのプログラム制御が可能です。
低温恒温槽は主に小型機器を対象としており、高温と低温の温度差を繰り返し与えることにより熱衝撃試験等の評価試験を行えます。高温は100℃まで低温は－40℃までの温度制御が可能です。
